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详细分析多功能烧结炉的正确使用步骤
点击次数:80 发布时间:2019-06-17
  多功能烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

  多功能烧结炉的正确使用步骤:
 
  1、检查烧结炉电路和水路能否正常,如正常通电,通水。
 
  2、翻开机械泵,过30秒后迟缓翻开预抽阀,1分钟后翻开前级阀。
 
  3、在真空度到达10Pa以下时翻开扩散泵,给扩散泵加热。
 
  4、扩散泵加热到60分钟后,关闭预抽阀,翻开高真空阀,真空度会逐步到达高真空。
 
  5、加热启动,在200度以下请你选用手动加热,在控制面板手动操作菜单中,留意第一次运用时,把拨钮上下动摇一次,然后拨到手动位置,启动加热,输入50左右,肯定。电流普通控制在300A以下,  自动加热:在温度控制界面设定温控表自动开端加热或开启手动位用手动开端加热。 以上设置阐明:从200度用时120分钟到600度,600度时保温30分钟,从600度用时130分钟到1000度,在1000度时保温5个小时,从1000度降到600度用时60分钟,60分钟后程序自动中止。设定好加热工艺后,首先中止手动加热,然后把拨钮拨到自动位置,启动自动加热程序,假如需求记载数据请在数据保管见面打“√”。
 
  6、在保温状态下,一定要坚持循环水的正常循环。
 
  7、保温时间到后,关闭加热开关,假如不需求高真空能够关闭扩散泵,翻开预抽阀,关闭高真空阀,开端降温。留意:机械泵不要关闭。
 
  8、在温度降到200度时关掉机械泵,关闭一切阀门。
 
  9、在常温下释放压力,冲入空气,将原料取出。
 
  10、如不继续工作,应翻开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空,关闭机械泵和预抽阀。坚持工作室里有真空度,避免水汽侵入。
 
  11、压力操作:首先在手动操作界面,报压力形式拨到自动位置,能够直接用仪表操作,设定好程序后按run键3秒启动,按stop键3秒中止。
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